不只是纯粹,而是超纯粹
- 用于除氧的LANXESS离子交换树脂现在也可用于超纯水应用
- 乐维特型升级用于电子工业和微系统技术
- 无需氢气催化去除过氧化氢
专业化学欧洲杯线上买球品公司朗盛(LANXESS欧洲杯体彩竞猜)升级了其用于电子行业的除氧离子交换树脂Lewatit K 7333。改进的聚合物基体结合改进的配方,现在可以生产钯掺杂的强碱性阴离子交换剂,具有很高的纯度,允许它用于生产用于半导体制造和晶圆抛光的超纯水(UPW)。这里只使用特别纯化的离子交换器来生产纯度极高的水。
作为离子交换树脂的领先制造商之一,朗盛的目标是通过这种新型产品在电子行业获得更多客户,并巩固其市场地位。
成功的产品升级为开创性的应用
几年来,离子交换器已成功用于催化去除工艺水中的氧气。Hans-Jürgen Wedemeyer解释说:“含氧水流经一个充满Lewatit K 7333的过滤器。在逆流中,氢通过过滤器。掺钯离子交换器在这里起到催化剂的作用。氢和氧在‘冷燃烧’过程中反应生成水。”,LANXESS液体净化技术(LPT)业务部门的技术营销经理。
Lewatit K 7333的另一个应用是催化去除氢2.O2.(过氧化氢)不需要氢气。这项技术越来越多地被用于生产超纯水。需要以这种方式生产更高质量的超纯水,因为在半导体工业中,对于更小的模块间隔,离子的残余含量在ppt/ppq范围内有规定。理想情况下,TOC(总有机碳)含量应处于检测极限。Wedemeyer说:“随着模块的增强和完善,水纯度要求变得越来越严格,这意味着纳米范围内的颗粒数越来越少,这一点越来越重要。”。
为了达到这些非常低的值,使用了一种特殊的紫外线灯。该灯氧化水中的任何残留有机物,生成CO2..然后离子交换器以碳酸氢的形式吸收它们。在紫外线照射下治疗的一个副作用是过氧化氢的形成(辐射分解),它可以破坏下游的离子交换器。这导致了TOC水平的增加和下游离子交换器中粒子的形成。钯掺杂的Lewatit K 7333消除了通过辐射分解形成的过氧化氢,直接降低到ppt的低范围,离子交换器本身只对TOC、粒子或残留离子造成非常小的污染。
Wedemeyer说:“这项技术已经在许多新工厂中使用,并且正在现有工厂中进行改造。这就是为什么我们预计对Lewatt K 7333离子交换器的需求会增加,以便我们能够满足半导体行业对水纯度越来越严格的要求。”。
离子交换器-电子工业湿化学过程中不可缺少的
UPW是微电子和纳米电子生产中光刻过程中晶片加工或复杂的湿化学过程中不可缺少的成分。这种工艺被用于制造半导体部件,如计算机处理器、存储芯片、发光二极管(LED)、液晶(LC)和LED显示器以及光伏模块。UPW还用于微系统技术,用于制造和加工微型机械部件,例如微型泵、微型电机和微型阀门。超纯水是防止或去除纳米级精细结构中的沉积物或杂质的重要先决条件,否则会导致生产故障和不可避免的高废品率。Wedemeyer说:“随着电子产品变得越来越小,UPW的质量要求也在不断提高。
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